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多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究

作者:周社柱 王锋 张桂芸 王成君 冯宏亮装炉量安全系数溢流热量冷却凝固紧急泄压

摘要:本文针对目前主流的多晶硅铸锭炉装炉量与设备安全性进行分析,通过强度变形量计算及热力学分析与目前的各种安全措施进行比较,从而提出比较理想的安全改进措施。

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真空

《真空》(CN:21-1174/TB)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《真空》社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

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