作者：张以忱溅射镀膜真空技术讲座应用击穿电压电极间距金属靶高气压
摘要：按照Ar的巴邢曲线（见图21），对于二极溅射金属靶而言，若Ar压力为10Pa，电极间距为4em，则p．d=4×10Pa·cm，相应击穿电压约为400V。此时，处于巴邢曲线的最低点左侧。若提高气压，还可以降低击穿电压。
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《真空》（CN：21-1174/TB）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《真空》社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
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