作者：纪锡旺 许振华 何利民 甄洪滨 李迪敏 郝...类金刚石中间层抗磨损能力结合强度
摘要：采用等离子体增强化学气相沉积（既CVD）、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法，合理利用金属Cr靶和TiAl靶，选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层（Cr、TiAI、TiAlN、Cr／TiAI／TiAlN）的复合结构体系类金刚石（DLC）涂层。选用拉曼光谱、光学显微镜、扫描电子显微镜和能谱仪对涂层形貌和结构进行表征测试。同时，利用显微硬度计、洛氏硬度计、划痕测试仪和球磨仪系统地分析了涂层的力学性能。研究结果表明：基体／Cr/TiA1，TiAlN／DLC涂层体系综合性能最佳，具有较高硬度（～3251HV）的同时结合性能最优（结合力～56．2N），且抗磨损能力最强。Cr／TiAl／TiAlN较其它中间层可更有效地缓解涂层体系内应力并提高基体／涂层间的结合强度和抗磨损能力。基体／TiAlN／DLC涂层体系复合硬度最高（-3350Hv），但其韧性最差、结合力最低（-35N），在硬质合金基体上直接沉积TiAlN作为中间层不利于提高基体／涂层间的结合强度。
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