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第十六讲 真空系统的操作与维护

作者:张以忱真空系统真空抽气系统维护操作扩散泵返油率辅助元件冷阱

摘要:(上接2009年第3期88页) 4扩散泵抽气系统 4.1扩散泵抽气系统组成 图36为一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图。抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成。图中还给出了一些辅助元件,但是并不是每套真空系统都需要有这些辅助件。如在返油率要求不高的真空系统中,就不需要配置液氮冷阱,只需要用一个水冷障板就可以。而在对返油率要求很严的应用中,则需要在系统中配置一个液氮冷阱,还可能再用一个局部水冷障板,液氮冷阱主要用于捕集水蒸气和泵工作液中的轻馏分返流。

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真空

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