作者：张以忱真空系统维护操作贮气罐扩散泵真空抽气前级泵设置
摘要：1.2.3.3 贮气罐 小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,贮存扩散泵排出的气体,设置贮气罐的原因有：
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