作者：高利强; 原洛渭单晶炉直拉法炉室真空与充气系统
摘要：炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等.直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法.本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构.然后根据压力的不同对炉室进行了分类.最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理.
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