磁控溅射镀膜中工作气压对沉积速率的影响

作者：王璘; 余欧明; 杭凌侠; 赵保平; 王忠厚磁控溅射镀膜沉积速率工作气压磁场

摘要：沉积速率是磁控溅射镀膜技术中的一项重要指标，它由许多因素决定。为了定性地了解沉积速率与工作气压之间的关系，通过实验测定了不同工作气压下的沉积速率，发现存在一个最大值，并对应有一个最佳工作气压。运用气体放电理论对这一现象进行了分析。这个结论为提高薄膜制备效率指明了方向，并为进一步建立沉积速率与工作气压之间的数学模型打下了基础。

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