作者：庞立斌; 齐勤瑞; 尹轶庭直流磁控溅射异常放电ito靶材对策
摘要：本文研究了液晶显示器制造ITO薄膜过程中Arcing形成原因及对策。通过对正常ITO成膜原理和异常Arcing形成原因分析,并提出解决对策,有效预防了Arcing发生概率,保证了生产品质。
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《中国战略新兴产业》（CN：10-1156/F）是一本有较高学术价值的周刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国战略新兴产业》是面向国内外战略性新兴产业市场,以新闻报道、信息交流、咨询服务、论坛活动、搭建市场评级认证为核心内容的期刊。
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