作者：彭建中; 李亚明彩色滤光片特性值管控线宽调整色度调整良率改善
摘要：文章主要基于涂布、曝光和显影三大设备，从产线特性值管控、RGB色度的影响因素及调整、产线良率的分析改善三方面，探讨了彩色滤光片黄光制程常见工艺异常的处理。
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