作者：彭更; 陈永军磁控溅射溅射电源人机界面
摘要：在生产过程中，大型真空溅射设备的靶材数量多，电源数量多，溅射电源和靶材之间的电缆多，并且电缆处于线盒中。然而更换靶材的周期短时间紧，工作人员难免会将溅射电源和阴极之间张冠李戴。一旦溅射电源和阴极张冠李戴就会存在一定的安全隐患，为了能提前发现此类错误而避免隐患就需要一种带自动检测功能的溅射电缆线。
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