作者：梁科微电池全固态薄膜锂电池阴极薄膜溅射法脉冲激光沉积法电子束蒸发法
摘要：电子产品小型化、微型化、集成化成为当今技术发展的大趋势，从而需要电池的微型化。微电池在未来便携式电子设备、国防装备及微电子机械系统（MEMS）等方面有着广泛的应用前景，受到人们的重视。文章介绍了全固态薄膜锂电池的原理和结构，以及阴极薄膜的制备技术，展望了全固态薄膜锂电池的应用前景。
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