作者:韩萌; 刘晟; 孟立凡测量精度电阻率四探针技术
摘要:电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一,四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段,并且已经广泛地应用于半导体制造工艺及检测。文章重点讨论了直线四探针技术的基本原理和测量方法,对RTS-8型四探针测试仪在使用过程中出现的一些非理想因素进行了深入讨论,分析引起测量误差的主要因素,找出影响测量精度的主要原因,探寻提高测量精度的方法。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《中国高新科技》(CN:10-1507/N)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国高新科技》系CNKI中国期刊全文数据库(中国知网)、万方数据库、中国优秀期刊(遴选)数据库、中国学术期刊综合评价数据库、中文科技期刊数据库、龙源期刊网等全文收录期刊。
北大期刊、统计源期刊
人气 542299 评论 58
部级期刊
人气 330723 评论 48
人气 288573 评论 60
省级期刊
人气 253861 评论 55