作者：郑强 王友林 马明明 吴亚州 朱艳飞研磨抛光抛光机控制晶片厚度研磨压力平行度
摘要：针对现有抛光机不能纠正晶片厚度偏斜和晶片研磨厚度无法自动控制问题,设计了一种新型抛光机,该设备主要由抛光盘及其驱动装置和工件的固定调节装置部分组成,通过控制载套的上部凸缘与载套座的上表面的距离可以控制研磨晶片的厚度,通过更换砝码有效地控制研磨压力,通过载套与滚针轴承的配合有效地控制晶片的平行度,防止样品磨偏。该设备还可以用于陶瓷,金属,玻璃等材料的研磨抛光。
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《组合机床与自动化加工技术》（CN：21-1132/TG）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《组合机床与自动化加工技术》主要讨论新技术在生产工程领域内的实际应用，内容侧重大批量制造技术及成套技术装备的开发设计。读者对象为从事机电装备研发与设计的工程师、高等机电院校的师生及学者等。
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