作者：冯晓梅; 张大卫微电子封装芯片加工精密定位系统
摘要：集成电路是现代信息社会经济发展的基础和核心,文章从IC产业的发展过程和现状出发,指出MEMS的微连接和系统组装已成为影响MEMS发展的关键技术.结合国内外用于MEMS系统微组装的高速高精度定位系统的研究现状与趋势提出,研发面向MEMS加工的高速高精度定位系统是推动MEMS发展的重要基础.
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《组合机床与自动化加工技术》（CN：21-1132/TG）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《组合机床与自动化加工技术》主要讨论新技术在生产工程领域内的实际应用，内容侧重大批量制造技术及成套技术装备的开发设计。读者对象为从事机电装备研发与设计的工程师、高等机电院校的师生及学者等。
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