作者：周国尊超薄光学元件精密性关键技术综合加工
摘要：在加工超薄光学元件的过程中,会因为重力和磨头而产生应力形变。于是,一种具有高效率、先进性加强的超薄光学元件综合加工法被提出。这种方法在进行面形控制的时候,全面充分的运用了离子束修形、精密抛光、精密铣磨。在开展精密铣磨的阶段时,主要是通过分析受力和采用误差补偿的方法以实现降低因为元件发生变形而造成的面形误差。在超薄光学元件的精密抛光接管,则是主要利用气囊抛光迭代以及沥青抛光迭代以实现短时间内收敛收敛面形的目的。在离子束加工的阶段,主要是利用离子束基本加工特点以实现修正面形的高精准度。
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