作者：侬健桃; 黄瀚氧化物陶瓷耐高温烧结体成型制备耐腐蚀磁控溅射法回收再生技术ito膜稀有金属
摘要：用磁控溅射法制备ITO膜所留下的ITO废靶料是一种经高压高温成型的铟、锡氧化物陶瓷烧结体,它耐腐蚀耐高温,但富含稀有金属铟,其回收再生技术特别是其中的铟、锡分离复杂,本文介绍几种回收方法并加以评述.
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