微机电系统mems微电子机械系统标准化工作微机械微系统批量生产加工技术亚毫米行业标准制定
摘要：2016年8月25日,IEC正式了由我国主导制定的第一项微机电系统（MEMS）领域国际标准,标志着我国MEMS领域国际标准化工作实现了零的突破。1微机电系统及加工技术MEMS是指关键（部件）特征尺寸在亚微米至亚毫米之间,能独立完成机电光等功能的系统（GB/T 26111）,也可称作微电子机械系统、微系统、微机械等。因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点,使得MEMS在民用和军工方面都显现出了巨大的应用潜力,
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