作者:余明正 巍迎春rp值软测量神经网络
摘要:针对预脱硅过程的RP值在线实时检测,影响生产质量和生产控制实时性问题,提出了RP值软测量的方法,开发了一套基于神经网络软测量的软件系统,利用此系统对预脱硅过程RP值进行预测。现场运行表明,系统误差在4%以内,对生产质量和控制实时性问题可以起到指导作用,证明了该软测量方法的有效性。
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《中国仪器仪表》(CN:11-3359/TH)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国仪器仪表》为中国仪器仪表、自动化控制技术领域的专业媒体;中国科技期刊精品数据库入选期刊;中文电子期刊服务数据库入选期刊;2001年首批入选“中国期刊方阵”,为496家“双效期刊”之一,倍受读者关注和喜爱。在仪器仪表、自动化控制领域具有相当的影响和威望。
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