作者：张敏; 杜鹃直流磁控溅射技术低温制备高电导高透明氢掺杂azo薄膜
摘要：通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。
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《中国新技术新产品》（CN：11-5601/T）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国新技术新产品》在科技部的直接领导下，依托科研院所的智力支撑，构筑专业化新技术、新产品信息服务平台，刊登科技新闻、科技信息，开展专项宣传报道，组织学术交流和推广新技术新产品等。
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