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IBAD法沉积TiN薄膜的机械和耐腐性

作者:李立; 王娟机械性能腐蚀

摘要:用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜.通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力:运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank's模拟体液中的耐腐蚀性能.研究结果表明:用高、低能氮离子束兼用的IBAD方法沉积TiN多晶薄膜后,材料表面结构和性能发生明显改变,表面硬度和耐磨性有明显提高,在Hank's模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力.

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中国民航大学学报

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