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LTCC基板关键工艺问题解决方案

作者:贾耀平ltcc基板关键工艺ltcc技术题解优化工艺参数电路系统工艺因素数据测试

摘要:LTCC技术以其特有的技术特点广泛应用于射频电路系统,本文针对LTCC工艺中关键工艺问题开展研究,详细分析了影响LTCC基板收缩率、翘曲度和层间对位偏差的工艺因素,并阐述了如何优化工艺参数以解决上述问题。通过大量的工艺试验和数据测试,结果表明,新的工艺方案可有效解决这些工艺问题。

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中国科技信息

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