作者：李炳辰; 李道儒; 张亚非低压等离子体电子密度分布测量直管制备加工平台自主设计工作气体
摘要：本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管.利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径向等离子体电子密度的分布呈抛物线型.
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