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一种层状结构声表面波流体传感器研究

作者:吴荣兴; 于兰珍; 李晓东; 郑东; 李建中声表面波流体层状结构传感器研究密度检测传感器尺寸位移波速质量效应保护层

摘要:本文设计了由弹性层、保护层和流体层组成的层状结构声表面波流体传感器。基于声表面波位移假设并结合边界条件,建立了声表面波在层状结构中传播的波速方程。数值计算结果表明随着流体层厚度的不断增加,流体层的质量效应在增强,波速也逐渐趋向于流体层的声表面波波速。通过精确设计传感器尺寸,可以对微量流体进行质量和密度检测。

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中国科技信息

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