作者：时文华 薛春来 罗丽萍 王启明dcxrd分析材料纳米x射线衍射方法原子力显微镜透射电镜浸润层
摘要：结合透射电镜与原子力显微镜实验，用双晶X射线衍射方法分析了Ge/Si多层纳米岛材料，衍射的卫星峰可以被分解为两个洛仑兹峰，它们分别源于材料的浸润层区和纳米岛区。利用透射电镜得到Si和SiGe层的厚度比，估算出浸润层区与岛区的Ge组分分别为0.51和0.67，这是一种简单估算 Ge/Si多层纳米岛材料中Ge组分的方法。
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