作者:卞志昕极紫外光源极紫外光刻技术电子芯片光刻工艺
摘要:有一种说法是,现代文明是电子芯片驱动的。从航天事业到日常生活,电子芯片对于现代文明的影响无处不在。而这所有的芯片,又无一例外都是光刻工艺的产物。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《中国科技信息》(CN:11-2739/N)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国科技信息》栏目有科技新闻、科技杂志要览、能源与环境、工程、农业、制造、交通运输、信息科技、现代服务、健康与生物医药、城镇化与城市发展、科技教育创新、基础及前沿研究、创新体系建设等。
部级期刊
人气 1073431 评论 53
省级期刊
人气 845795 评论 70
人气 806055 评论 68
人气 752892 评论 72