作者：王勇 孙立臣 闫荣鑫 孙立志逆流氦质谱仪检漏线性航天器
摘要：根据氦质谱检漏仪中机械泵的抽速在某真空范围内恒定的特性,首次提出了一种考察检漏仪线性能力的新方法,并通过试验验证了该方法的合理性。该方法通过调整检漏仪的入口压力来改变进入检漏仪的气体流量,对于氦气浓度恒定的混合气体则可以改变进入检漏仪中的氦气流量,从而改变检漏仪的输出读数;通过分析检漏仪的入口压力与最终输出读数间的关系考察检漏仪的线性能力。结果表明：该方法简便、成本低廉,测试范围涵盖了工程常用的漏率范围。
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