微纳制造与测量的探索者和践行者——记西安交通大学机械工程学院教授杨树明

作者：王彬杨树明西安交通大学光学干涉测量微纳制造中国计量测试学会激光加工光学器件机械工程

摘要：激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜、医疗影像设备等国家重大工程及国防尖端技术对高精度光学元件具有极大的需求,而光学元件表面质量的好坏则直接影响其长期稳定性、镀膜质量、使用寿命和激光损伤阈值等重要性能指标。光学干涉是表面质量检测最具潜力的方法之一,但是随着加工精度和效率的不断提高.

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