集成电路技术纳电子器件掺杂碳基摩尔定律科学与技术微电子工业cmos
摘要：项目的提出是考虑到基于现有的硅基CMOS集成电路技术，摩尔定律将在10～15年达到极限，后摩尔时代的纳电子科学与技术的研究变得日趋急迫。微电子工业走到10纳米以下技术节点时可能不得不面临放弃继续使用硅材料作为晶体管导电沟道。
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