加工新技术材料表面金属离子源表面加工强流薄膜沉积金属离子注入产业化前景类金刚石膜等离子体
摘要：强流金属离子注入和等离子体薄膜沉积是高效率低成本的材料表面加工新技术,具有巨大的产业化前景.该技术可以大幅度直接提高材料表面性能、或在材料表面上生成各种结合紧密、性能优异的纳米微米尺度金属膜、碳化物膜、氧化物膜、氮化物膜以及类金刚石膜.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《中国科技成果》（CN：11-4484/N）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国科技成果》数据库是国家科技部指定的新技术、新成果查新数据库。数据的准确性、详实性已使其成为国内最具权威性的技术成果数据库，不仅可以用于成果查新和技术转让，还可以为技术咨询、服务提供信息源，为技术改造、新产品开发以及革新工艺提供重要依据。
部级期刊
人气 1075595 评论 53
省级期刊
人气 846683 评论 70
人气 808343 评论 68
人气 754015 评论 72
