pcvd工模具表面陶瓷化工业技术cvd设备技术原理表面强化脉冲直流工作气体等离子场化学反应加热系统加热速率频率范围直流电源强化层内热式热效率外热式逆变式专用超硬
摘要：脉冲直流PCVD工模具表面强化的技术原理是：在专用的PCVD设备中，在一定的温度、气压条件下通入一定比例的工作气体，利用等离子场的能量，促成化学反应，在工模具表面形成耐热、超硬强化层。研制出的专用PCVD设备采用独特设计的内热式加热系统，真空室内安装发热器件，比外热式显著提高了热效率及加热速率，逆变式脉冲直流电源频率范围大、负脉冲深度可调。
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