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用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移

作者:姜坤; 朱若谷迈克尔逊干涉压电陶瓷驱动器微定位工作台

摘要:将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台,通过实验研究了其位移与电压的关系.实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系.另外。还对影响系统定位的误差作了相关分析.

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中国计量大学学报

《中国计量大学学报》(CN:33-1401/TB)是一本有较高学术价值的大型季刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国计量大学学报》以刊登有一定创见性的科学技术研究论文为主,并适当刊登有价值的学科前沿、新技术发展的综合评述类文章。学报努力体现“以计量为特色,多学科协调发展”的办刊宗旨。

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