作者：丁晨; 丁立强; 李灏; 乔玉娥; 郑世棋半导体器件现场校准测量不确定度评定高压分压器不确定度分量测量结果电压系数数字多用表分析仪
摘要：半导体器件特性分析仪能够满足器件各项直流特性参数的测试需求,如器件的I-V曲线、C-V曲线、表面漏电流、击穿电压等,在半导体器件的各个环节有着不可替代的关键作用。由于半导体器件分析仪自身体积过大,精度高,拆卸繁琐,送往计量机构过程中难免会遇到磕碰等各种问题,可能会导致测量结果不准确,因此现场计量变得尤为重要。
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