作者：汤昌社 周建友机器视觉干涉仪自动化改造计算机技术同时测量电荷耦合器工作强度计算标准
摘要：用传统等倾干涉仪测量平晶平面度，需靠肉眼从目镜观察，通过旋转测微鼓轮在分划板反复压线估读干涉环直径，这样做不仅准确度低，而且工作强度大、效率低。用机器视觉与计算机技术能解决以上问题：计算机对电荷耦合器（CCD）采集的干涉图进行处理，再同时测量多条干涉同心环直径并计算标准干涉环直径风；遍历所有检定点后。计算机通过数据处理自动得到各检定点的平面度数值。
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