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飞秒激光直写铜微电极研究

作者:廖嘉宁; 王欣达; 周兴汶; 李立航; 郭伟; ...激光技术微纳结构原位还原纳米连接柔性电极

摘要:采用飞秒激光直写技术在预涂覆廉价铜离子涂层的柔性基体上通过激光还原得到纳米铜颗粒并原位连接形成导电结构,成功制得了具有优良导电性能的铜微电极。研究了不同激光功率及扫描速率对微电极形貌结构、导电性能的影响。结果表明:在不损伤基体的条件下,随着辐照激光能量密度增大,铜微电极的导电性能明显提高;当激光功率为1210 mW、扫描速度为1 mm/s时,所制备的微电极的成分主要为铜,导电性能较好,方阻达到2.74Ω·sq-1。该研究为发展低成本、高效率的柔性电极制造提供了一种新技术,并拓宽了纳米铜材料在电子行业的应用范围。

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中国激光

《中国激光》(CN:31-1339/TN)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国激光》先后被评为——中国自然科学优秀期刊;物理学类优秀期刊;无线电子学·电信技术类优秀期刊。收录情况:美国《ProQuest数据库》、英国《英国皇家化学学会文摘》。

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