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全芯片电气可靠性验证:适用于先进工艺的新方法

作者:Frank; Feng可靠性验证工艺芯片电气片上系统小尺寸器件soc

摘要:采用先进技术的芯片设计特征:通过缩小栅极尺寸和互连宽度/间距,在更小的器件内实现更强大的功能。凭借先进的工艺,在与前一代工艺同等甚至更小尺寸的芯片里可以封装更多的器件。如对采用10 nm 工艺节点的片上系统(SOC)设计而言,在不到 1 平方厘米的面积中包含数十亿个器件已不足为奇。

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中国集成电路

《中国集成电路》(CN:11-5209/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国集成电路》报道内容涉及半导体微电子科学与技术及其应用的各个领域,包括微电子器件与电路的基础及其设计技术、电子设计自动化、工艺技术、设备材料、封装技术、产业发展、应用技术及市场等。

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