作者：Dale; Johnson气体传感器金属氧化物mox测试挥发性有机化合物mems技术晶圆制造大规模生产
摘要：1测试背景MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用,大大降低了硅晶圆制造的成本。气体传感器的功能是对一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物(如:如乙醇、丙酮和甲苯)进行精确测量。主要应用于健康和安全方面,包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统等。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《中国集成电路》（CN：11-5209/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国集成电路》报道内容涉及半导体微电子科学与技术及其应用的各个领域，包括微电子器件与电路的基础及其设计技术、电子设计自动化、工艺技术、设备材料、封装技术、产业发展、应用技术及市场等。
省级期刊
人气 25464 评论 58
人气 4875 评论 47
