作者：纪志罡; 靳磊; 许铭真; 谭映; 王国林; 马...比例差值算符器件参数半导体系统大规模集成芯片一代本征特性理论与实践综合检测直接提取
摘要：1.引言 随着大规模集成芯片上的器件尺寸的微型化,为了解决微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术,半导体器件参数比例差值谱系统运用了一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性--比例差分特性.
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《中国集成电路》（CN：11-5209/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国集成电路》报道内容涉及半导体微电子科学与技术及其应用的各个领域，包括微电子器件与电路的基础及其设计技术、电子设计自动化、工艺技术、设备材料、封装技术、产业发展、应用技术及市场等。
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