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12英寸硅草晶抛光片的研制

作者:周旗钢信息产业发展先导产业现代经济半导体工业扩大市场需求世界硅片抛光片集成电路

摘要:信息产业已成为现代经济的先导产业,以集成电路为核心的电子元器件是信息产业的基础,硅片是集成电路最主要的基础功能材料,在信息产业发展中占有重要的地位和作用。目前世界半导体工业正开始由8英寸硅片的0.25微米技术向12英寸硅片的0.13-0.10微米技术转移,对12英寸硅片的市场需求将逐步扩大。

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中国集成电路

《中国集成电路》(CN:11-5209/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国集成电路》报道内容涉及半导体微电子科学与技术及其应用的各个领域,包括微电子器件与电路的基础及其设计技术、电子设计自动化、工艺技术、设备材料、封装技术、产业发展、应用技术及市场等。

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