作者：王晓海微机电系统技术微电子技术mems技术机械加工技术应用卫星器件尺寸微型电机
摘要：一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。具体来说，微机电系统是专指外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米量级（10^-6～10^-9m），可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞速发展的微米和纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等微型装置和器件集成在硅片上，不仅能收集、处理与发送信息或指令，还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
