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无驱动结构硅微机械陀螺冲击响应信号分析

作者:严庆文 张福学 刘宇 赵辉 张振平微机械陀螺冲击响应信号旋转飞行器单通道控制

摘要:介绍了一种用于旋转飞行器单通道控制的无驱动结构硅微机械陀螺。陀螺利用旋转飞行器的滚转作为驱动,敏感任意方向的横向角速度。在陀螺冲击试验中,陀螺冲击响应信号的幅度和宽度较大。在实际应用中,幅度超过1.5 V、宽度超过100 ms的冲击响应信号有能力阻塞旋转飞行器控制信号通道,影响旋转飞行器正常飞行。对陀螺冲击响应信号产生的原因进行了分析,分析表明,由于陀螺摆片偏心,陀螺在受到厚度方向的冲击时摆片绕扭转梁发生了偏摆。提出了通过增加陀螺扭转梁厚度的方法,减小陀螺在单位冲击加速度下的摆角幅度。通过实验证明,如果陀螺扭转梁增厚从48μm增加到75μm,陀螺冲击响应信号的幅度和宽度将减小约18倍。

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中国惯性技术学报

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