作者：崔峰; 苏宇锋; 张卫平; 吴校生; 陈文元; ...微机电系统微陀螺微加速度计转子静电悬浮
摘要：静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度.介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状.对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨.指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
