作者：张雷设备管理设备综合效率半导体测试fmea
摘要：集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率（OEE）理论运用到集成电路测试设备管理中,通过对OEE各项指标的分析与改善,实现设备产能的提升。
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