作者:郑海顺; 李亮生; 姜勋祥真空容器动密封观察窗真空镀膜
摘要:文章介绍了一种新型的观察窗,它利用旋动转轴带动调节环转动,同时通过一些运动副带动快门片张开闭合的装置,主要应用于真空镀膜设备,防止某些金属元素或腐蚀性物质直接镀到观察窗玻璃片上的一种机构。
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