浅谈材料抛光技术

作者：郭世璋材料抛光表面粗糙度浴法抛光离子束加工

摘要：随着光学和微电子学及其相关技术的发展，对所需材料的表面质量的要求越来越高。超光滑表面的加工方法有抛光和超精密机械加工等。超光滑表面加工的对象主要是晶体、陶瓷等硬脆性材料，主要应用于现代武器惯导仪表的精密陀螺的平面反射镜、激光核聚变反射镜、大规模集成电路的基片、计算机磁盘、磁头和蓝宝石红外探测器窗口的透镜等超光滑表面的加工。相比于超精密机械加工，抛光应用更为广泛。

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