作者：张健cbir半导体测量侧壁sem图像
摘要：文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手，阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义，在此基础上提出了下一步工作进展的方向，以实现用数字化指导生产实践的目标.
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