阵列波导光栅集成光学优化设计光电集成多模干涉光开关微透镜阵列波导结构藕合光纤阵列
摘要：TN256 2005064255 单侧耦合16通道100 GHz硅基二氧化硅阵列波导光栅的 研制=Single-side alignment of 100 GHz 16 channel Si- SiO2 based on AWG design and fabrication[刊,中]/李健 (中科院半导体所．北京(100083)),安俊明…∥光学技 术．-2005,31(4)．-583-585
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