微结构应用光学三维运动系统测试自动测试装置光学测试测量精度光学系统光强测试测试原理
摘要：TH741 2005064414 利用光切方法测量微结构的三维微运动=Measuring three-dimensional micro-motions of microstructure using optical sectioning[刊,中]/郭彤(天津大学精密测试技术及 仪器国家重点实验室．天津(300072)),胡春光…∥光学技 术．-2005,31(4)．-568-571,574 开发出了一种测试系统,能使做结构的三维运动可视 化。系统包括:利用光学显微镜来实现微结构的放大,并
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