感光材料感光度性能测试摄影光学成像材料中科院光化学感光科学立方体离子键
摘要：TQ512 2005053700 一种适用于193 nm光刻胶的硫鎓钳盐光产酸剂的制备与性 质=Preparation and pro(?)erties of a kind of sulfonium salt PAG applicable for 193 nm photoresist[刊,中]／王文君(北 京师范大学化学系．北京(100875)),李华民…∥感光科学 与光化学．-2005,23(1)．-48-54 制备了一种阳离子含有萘基,阴离子分别为对-甲苯 磺酸、甲磺酸及三氟甲磺酸的硫鎓盐,它们有高的热解温 度和在常用有机溶剂中较好的溶解性。测定了此类光产 酸剂在水溶液及聚乙二醇固体膜层中的紫外吸收特性。 结果表明,阴离子不含苯基时,在193 nm处有很好的透明 性。图4表2参11(于晓光)
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
