激光化学准分子激光激光应用电化学特性阳极钝化区化学刻蚀加工工艺各向异性可行性分析
摘要：O644．8 2005053422 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究=Experimental study on characteristic of Ni in excimet-laser induced elec- trochemical etching[刊,中]／周月豪(华中科技大学机械与 工程学院．湖北,武汉(430074)),柳海鹏…∥光学技术．- 2005,31(3)．-323-325,329 提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝 化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性 的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初 步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的 幅度比较明显。在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激 光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。 表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。 图4参8(严寒)
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
