光电子技术光电成像关键工艺驱动时序发生器光学仪器硅集成电路工艺图像传感器电荷藕合器件复杂可编程逻辑器件基本工作原理
摘要：TN386．5 2005042916 CCD制造的关键工艺=Key technology of CCD manufac- turing process[刊,中]／武利翻(重庆邮电学院．重庆 (400065))／／光电技术应用,-2005,20(1),-38-42 CCD(电荷耦合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器。介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述。图4参14(严寒)
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